به گزارش دیده بان علم ایران، راکتور لایه نشانی پلاسمایی غیرحرارتی با استفاده از تخلیه الکتریکی گازهای تزریق شونده به داخل راکتور، قادر است با تولید رادیکال‌های آزاد و ذرات باردار یونی و الکترونی در سطح نمونه مورد نظر، تغییرات فیزیکی و شیمیایی ایجاد کند.
از این قابلیت می‌توان در زمینه‌های مختلف از جمله نهشت فیلم‌های نازک و ضخیم به ویژه برای سطوح حساس به دما بهره جست.
طراحی و ساخت راکتور لایه نشانی پلاسمایی غیرحرارتی، توسط مریم نیلکار، دانشجوی دکتری فیزیک دانشگاه گیلان و با راهنمایی دکتر فرهاد اسمعیلی قدسی و دکتر ساعد جعفری انجام شده و راکتور ابداعی با شماره ثبت ۹۸۴۱۴ و طبقه بندی بین المللی B۰۱D۵۳/۰۰;B۰۱J۱۹/۰۰ ثبت اختراع شده است.
انتهای پیام
