طراحی و ساخت راکتور لایه نشانی پلاسمایی غیر حرارتی
به گزارش اداره کل روابط عمومی وزارت علوم به نقل از دانشگاه گیلان، راکتور لایه نشانی پلاسمایی غیرحرارتی، با استفاده از تخلیه الکتریکی گازهای تزریق شونده به داخل راکتور، قادر است بهواسطه تولید رادیکالهای آزاد و ذرات باردار یونی و الکترونی، در سطح نمونه مورد نظر، تغییرات فیزیکی و شیمیایی شگرفی ایجاد کند.
بر اساس این گزارش، از این قابلیت میتوان در زمینههای مختلف از جمله نهشت فیلمهای نازک و ضخیم بهویژه برای سطوح حساس به دما بهره جست.
فاز طراحی و ساخت راکتور لایه نشانی پلاسمایی غیرحرارتی، توسط مریم نیلکار دانشجوی دکترای فیزیک دانشگاه گیلان و با راهنمایی دکتر فرهاد اسمعیلی قدسی و دکتر ساعد جعفری انجام گرفته است.
گفتنی است، راکتور ابداعی با شماره ثبت ۹۸۴۱۴ و طبقهبندی بینالمللی B۰۱D۵۳/۰۰;B۰۱J۱۹/۰۰ ثبت اختراع شده است.
ل.م ۵۴